서진엔지니어링
Transfer Robot System


 
작성일 : 19-03-28 09:31
WR2154-300 방수 대응 Dual Arm Robot
 글쓴이 : (주)서진엔…
조회 : 1,124  

R축 θ축 Z축
반송속도 508mm/sec 180°/1.2sec 300mm/1.6sec
동작범위 508mm/108mm 330° 300mm
반송대상 Ф150mm, Ф200mm, Ф300mm silicon wafer 대응
반복 정밀도 ±0.1mm 이내
전원/진공 DC24V / 19A
질량 45kg

 
   
 


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