서진엔지니어링
Transfer Robot System


 
작성일 : 19-03-28 09:37
FR1200-2440 FOUP Stocker용 반송 Robot
 글쓴이 : (주)서진엔…
조회 : 1,547  

R축 θ축 Z축
반송속도 250(400)mm/sec 500(700)mm/sec 500(700)mm/sec
동작범위 ±416mm 550mm 2440mm
반송대상 Ф300mm silicon wafer 만재 FOUP 질량 8.2kg
반복 정밀도 ±0.2mm 이내
전원/진공 AC200~230V+10~-15% 50/60Hz 3상 전원 2.5KVA 이상
질량 승강 Slide Unit 140kg, Arm & Shift Unit 40kg

 
   
 


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