서진엔지니어링
Transfer Robot System


 
작성일 : 19-03-28 09:47
GA2600-Z Edge Grip식 Aligner
 글쓴이 : (주)서진엔…
조회 : 1,147  

위치결정정밀도 Centering 위치 정밀도 ±0.2mm 이내
Notch 위치 정밀도 ±0.1° 이내
위치결정시간 7초 이내
반송대상 Ф150mm silicon wafer, Ф150mm Glass wafer
클린도 ISO 2등급
전원/압공/진공 DC24V / 0.5Mpa
질량 10kg

 
   
 


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