서진엔지니어링
Transfer Robot System


 
작성일 : 19-03-28 09:52
ER2540-300 직동식 Dual Arm Robot
 글쓴이 : (주)서진엔…
조회 : 1,084  


　 R축 θ축 Z축
반송속도 570mm/0.8sec 180°/0.8sec 310mm/1.2sec
동작범위 540mm 330° 300mm
반송대상 Ф300mm silicon wafer 및 Maca clamp unit(질량 1kg 미만) 대응
반복 정밀도 ±0.1mm 이내
전원/진공 DC24V / 14A 이상
질량 40kg

 
 
 


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