서진엔지니어링
Transfer Robot System


 
작성일 : 19-03-28 09:55
CDR3460-650 직동식 Multi Arm Robot
 글쓴이 : (주)서진엔…
조회 : 1,048  


  R축 θ축 Z축
반송속도 460mm/0.9sec 180°/1.3sec 650mm/2.0sec
동작범위 460mm 330° 650mm
반송대상 Ф200mm silicon wafer
반복 정밀도 ±0.1mm 이내
전원/진공 DC24V / 600W
질량 60kg

 
   
 


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