서진엔지니어링
Transfer Robot System


 
작성일 : 19-03-28 09:59
SR2000 Link식 Dual Arm Robot
 글쓴이 : (주)서진엔…
조회 : 1,134  


  R축 θ축 Z축
반송속도 700mm/sec 270°/sec 270mm/sec
동작범위 520mm 330° 310mm
반송대상 Ф300mm silicon wafer
반복 정밀도 ±0.1mm 이내
전원/진공 DC24V / 19A
질량 34kg

 
   
 


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